日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案
半導體在我們熟悉的集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、汽車電子、大功率電源轉換等領域都有應用，而日置HIOKI的測試儀器如功率分析儀、存儲記錄儀、數據采集儀、電池測試儀、LCR測試儀、阻抗測試儀等也在這些領域擔任著重要的測試任務。
日置HIOKI在半導體C-V測試上應用
那么日本日置產品在半導體元器件(或集成電路)測試中的應用有哪些呢?以晶圓級MOSFET為例，晶圓電容-電壓(C-V)特性曲線測試是半導體參數測試中的比較關注的一部分，CV頻率范圍根據不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高頻段，通過上位機軟件在固定頻段下以0.1V或者0.5V的步進掃描電壓測試C值，電壓范圍有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。(支持第三方軟件控制)
通過C-V測量還可以對其他類型半導體器件和工藝進行特征分析，如：BJT晶體管，二極管與PN結，III-V族化合物，二維材料，金屬材料，光子檢測器件，鈣鈦礦與太陽能電池，LED與薄膜晶體管，非易失性存儲器與材料，MEMS與傳感器，分子與納米器件，半導體器件特性分析與建模，器件噪聲特性分析以及檢測工藝參數和失效分析機制等。
擴展應用
半導參數測試中除了CV電容電壓特性曲線測試，還有IV電流電壓特性曲線測試，可以將LCR測試儀IM3536搭配皮安表SM7110以及其他測試儀器進行系統(tǒng)集成。
日本日置在半導體行業(yè)的產品介紹
低頻阻抗分析儀IM3590
用于測試器件、材料等
針對DC以及1mHz~200kHz范圍內的頻率帶寬可設置5位的分辨率(100Hz不到是1mHz分辨率)。能夠進行共振頻率的測量和在接近工作條件的狀態(tài)下進行測量、評估。
測量頻率1kHz，測量速度FAST時，可達zui快2ms。有助于掃頻高速化。
Z的基本精度是±0.05%。從零部件檢查到研究開發(fā)的測量，都能達到推薦精度。
LCR測試儀IM3536
直流偏置電壓高達±500V
測量頻率DC，4Hz~8MHz
測量時間：zui快1ms
基本精度：±0.05%rdg.
mΩ以上的精度保證范圍，也可安心進行低阻測量
可內部發(fā)生DC偏壓測量
從研發(fā)到生產線活躍在各種領域中
高頻阻抗分析儀IM7587
可穩(wěn)定測量高達3GHz的阻抗
測試電壓測量頻率：1MHz~3GHz
測量時間：zui快0.5ms(模擬測量時間)
測量值偏差：0.07%(用3GHz測量線圈1nH時)
基本精度：±0.65%rdg.
緊湊主機僅機架一半大小，測試頭尺寸僅手掌大小
豐富的接觸檢查(DCR測量、Hi-Z篩選、波形判定)
分析模式下可以邊掃描測量頻率、測量信號電平邊進行測量
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