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　　系統背景：

　　電阻率是決定半導體材料電學特性的重要參數，為了表征工藝質量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針法具有設備簡單、操作方便、測量精度高以及對樣品形狀無嚴格要求的特點。目前檢測半導體材料電阻率，尤其對于薄膜樣品來說，四探針是最常用的方法。

　　四探針技術要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面。在外邊兩根探針之間輸出電流的同時，測試中間兩根探針的電壓差。最后，電阻率通過樣品的幾何參數，輸出的電流和測到的電壓值來計算得出。

　　四探針法測量半導體電阻率測試方案，使用美國吉時利公司開發的高精度源測量單元（SMU），既可以在輸出電流時測試電壓，也可以在輸出電壓時測試電流，。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨率高達微伏級，。支持四線開爾文模式，因此適用于四探針測試，可以簡化測試連接，得到準確的測試結果。

　　不同材料的電阻率特性

　　方案特點：

　　-系統提供上位機軟件，內置電阻率計算公式，符合國標硅單晶電阻率測試標準，測試結束后直接從

　　電腦端讀取計算結果，方便后續數據的處理分析；

　　-提供正向/反向電流換向測試，可以通過電流換向消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值；

　　-四探針頭采用碳化鎢材質，間距1毫米，探針位置精確穩定。采用懸臂式結構，探針具有壓力行程，

　　針對不同材料的待測件，不同針尖直徑的針頭選項；

　　-探針臺具備粗/細兩級高度調整，細微調整時，高度分辨率高達2微米，精密控制探針頭與被測物之間

　　的距離，防止針頭對被測物的損害；

　　-載物盤表面采用絕緣特氟龍涂層，降低漏電流造成的測試誤差。

　　高品質四探針頭，提供多種針尖直徑

　　粗細兩級針臂高度調節，分辨率高達2um

　　軟件功能：

　　-輸出電流并測試電壓，電阻，電阻率，電導率，薄層電阻等，記錄數據，并根據測試結果繪制曲線；

　　-軟件在Windows 7/8/10平臺下使用，測試方法符合GB/T 1551/1552等國家測試標準；

　　-提供多種修正參數幫助提高電阻率測試精度；

　　-配合吉時利2450/2460/2461高精度源表使用，確保測試精度和一致性。

　　系統結構：

　　系統主要由吉時利源表（SMU）、四探針臺和上位機軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或后面板排線接口接到源表上。

　　系統指標：

　　電阻率測試范圍：0.001Ω?cm~100MΩ?cm

　　探針頭壓力合力：S型懸臂式彈簧，合力6~10 N

　　絕緣電阻：500V下>1GΩ

　　系統誤差：<2%(<1Ω?cm時，誤差小于0.5%)

　　探針頭間距：1mm,1.27mm,1.59mm可選，使用紅寶石套軸，探針游移率<0.2%

　　針尖壓痕直徑：25 um~450um不同規格可選

　　通信接口：LAN/USB/GPIB

　　探針臺尺寸：240mm x 160mm x 280mm

　　系統配置：

　　四探針探針臺

　　四探針針頭

　　源表端四線香蕉頭連接線

　　四探針測試軟件

      以上就是吉時利源表在四探針法測量半導體電阻率測試方案的相關介紹，如果您有更多疑問或需求可以關注西安安泰測試Agitek哦！非常榮幸為您排憂解難。